PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類對晶圓表面的污染進(jìn)行無損、非接觸式和高靈敏度分析
過渡金屬 LLD 10 采用直接 TXRF 測量方法8 原子/厘米2達(dá)到水平。 在封閉 X 射線管測量時間的 1/3 內(nèi)即可實現(xiàn)相同的精度,從而實現(xiàn)高通量。
詢價詢問有關(guān)產(chǎn)品的問題這是一種方法,它使用三種類型的光譜晶體來提取被測元素的最佳單色 X 射線束,并將其用于污染元素激發(fā)。 用于輕元素測量的 W-Mα 射線不會激發(fā) Si,因此可以分析 Na、Mg 和 Al。 從 Na~U 連續(xù)進(jìn)行高精度自動分析。
它使用抑制高階反射的光學(xué)系統(tǒng)和 X-Y-theta 驅(qū)動平臺,自動 X 射線入射方向選擇功能消除了基板上的衍射線,并以最小的散射射線干擾實現(xiàn)高 S/N 測量。 可以對整個晶圓表面進(jìn)行準(zhǔn)確和高精度的痕量分析。
異物檢查裝置的坐標(biāo)數(shù)據(jù)可以導(dǎo)入 TXRF 系統(tǒng),并且可以對顆粒存在點進(jìn)行污染元素分析。 滴灌跟蹤搜索功能使用的算法,需要快速準(zhǔn)確的坐標(biāo)。
Sweeping-TXRF 方法可用于使用直接 TXRF 方法高速測量晶圓表面的內(nèi)部,并闡明污染元素的分布狀態(tài)。 可以在短時間內(nèi)完成晶圓整個表面的污染分析,這是傳統(tǒng)的代表性坐標(biāo)測量(例如平面中的 5 或 9 個點)無法捕獲的。 200mm 晶圓整個表面的 5×1010 原子/厘米2 污染物檢測可在短短 30 分鐘內(nèi)完成。 除了污染物元素的分布外,還可以通過整合整個表面的測量值來計算晶圓表面的平均污染物濃度。
我們已經(jīng)在晶圓邊緣附近實現(xiàn)了高靈敏度測量,這是迄今為止TXRF方法無法測量的。 現(xiàn)在可以使用 TXRF 在污染集中的邊緣進(jìn)行污染分析。
它可以通過 SECS 與主機(jī)通信,并支持各種 CIM/FA。 除了開放式包埋盒外,還提供 SMIF POD(可選)。
產(chǎn)品名稱 | TXRF 3760 系列 | |
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技術(shù) | 全內(nèi)反射 X 射線熒光 (TXRF) | |
用 | 從 Na 到 You 的元素分析以測量晶圓污染 | |
科技 | 帶無液氮檢測器的 3 光束 TXRF 系統(tǒng) | |
主要組件 | 適用于最大 200 mm 晶圓的 XYθ 樣品臺系統(tǒng)、真空晶圓中的機(jī)器人傳輸系統(tǒng)、ECS/GEM 通信軟件 | |
選擇 | Sweep TXRF 軟件(能夠映射晶圓表面的污染物分布以識別“熱點")。 ZEE-TXRF 功能,可實現(xiàn)零邊排除測量) | |
控制 (PC) | 內(nèi)部 PC、MS Windows®作系統(tǒng) | |
本體尺寸 | 1000 (寬) x 1760 (高) x 948 (深) 毫米 | |
質(zhì)量 | 100 kg(主機(jī)) | |
權(quán)力 | 三相 200 VAC 50/60 Hz,100 A |
郵箱:zcl@kitazaki.cn
傳真:86-010-67868591
地址:朝陽區(qū)住邦2000商務(wù)樓A座1號樓406B