該產品為質量流量控制器的檢測裝置，檢測范圍包括設定電壓及輸出電壓等電壓狀態(tài)。

此外，該產品內置耗電量較低的電壓表，可以監(jiān)控從設備發(fā)出的信號、MFC向設備發(fā)出的信號是否正常，在故障發(fā)生時可及時鎖定故障原因。

　　　　　　 　IM-10

連接示例

將本儀器連接在質量流量控制器和設備電源之間，或者連接在質量流量控制器和電源設定表示器（RP-310）之間，即可對各種信號、電壓進行檢測。


測量功能

?電源電壓（±15VDC）

?流量設定電壓（0-5VDC）

?流量輸出電壓（0-5VDC）

?閥門啟閉電壓（±15VDC）

?外殼電壓